Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Дисперсия показателя преломления в high-k диэлектриках, "Оптика и спектроскопия"»

Авторы:
  • Швец В.А.1
  • Кручинин В.Н.2
  • Гриценко В.А.3
стр. 728-733
Платно
1 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО Российской академии наук, Новосибирск, 2 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН, 3 Институт физики полупроводников им. Ржанова СО РАН; Новосибирский национальный исследовательский государственный университет
Аннотация:
Приведен краткий обзор оптических свойств оксидных материалов, используемых в настоящее время в качестве диэлектриков в современной микроэлектронике. При помощи спектральной эллипсометрии измерены дисперсионные зависимости для различных материалов. Проведен краткий сравнительный анализ различных диэлектрических покрытий. Результаты исследования будут полезны в дальнейших исследованиях свойств диэлектриков, а также в технологиях при разработке новых полупроводниковых приборов.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%