Статья «МОДЕЛИРОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ФОТОННЫХ КРИСТАЛЛОВ НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ В ВИДИМОЙ ОБЛАСТИ СПЕКТРА, "Оптика и спектроскопия"»

Оптические устройства на базе фотонных кристаллов представляют большой интерес в связи с возможностями их эффективного применения в области лазерной физики и для биосенсинга. Фотонные кристаллы позволяют управлять распространением электромагнитных волн и контролировать свойства излучения люминофоров, внедренных в фотонную структуру. Одним из наиболее интересных материалов для изготовления одномерных фотонных кристаллов является пористый кремний. Однако при использовании данного материала важным вопросом является контроль показателя преломления слоев за счет изменения пористости, а также дисперсия показателя преломления. Кроме того, важно иметь возможность моделирования оптических свойств структуры для точного подбора параметров изготовления и получения одномерных фотонных кристаллов с заданными свойствами. Для решения данных задач мы использовали математическую модель на основе метода матриц переноса, модели Бруггемана, а также дисперсионной зависимости показателя преломления кремния. По полученным с использованием предложенной модели параметрам были изготовлены образцы микрорезонаторов методом электрохимического травления кремния и измерены их спектры отражения. Показано хорошее соответствие рассчитанных параметров с полученными экспериментально. В результате применения модели была достигнута добротность микрорезонаторов 160 в видимой области спектра.