Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ТИГЛИ ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ МЕТОДОМ ЧОХРАЛЬСКОГО МОНОКРИСТАЛЛОВ ИЗОТОПНООБОГАЩЕННОГО КРЕМНИЯ, "Неорганические материалы"»

Авторы:
  • Гусев А.В.1
  • Гавва В.А.2
  • Козырев Е.А.3
  • Риман Х.4
  • Абросимов Н.В.5
стр. 1262-
Платно
1 Институт вычислительной математики РАН 119333 г. Москва, ул. Губкина, 8, 2 Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых Российской академии наук, Нижний Новгород, 3 Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых Российской академии наук, Нижний Новгород, 4 Институт роста кристаллов им. Лейбница, Берлин, Германия, 5 Институт роста кристаллов им. Лейбница, Берлин, Германия
Аннотация:
Проведена оценка изотопного разбавления при выращивании монокристаллов стабильных изотопов кремния методом Чохральского с использованием тиглей из кварцевого стекла природного изотопного состава. Разработана методика нанесения на тигли защитных покрытий из изотопнообогащенного диоксида кремния. Сопоставление изотопного состава исходного изотопнообогащенного поликристаллического кремния и выращенных из него монокристаллов <sup>28</sup>Si, <sup>29</sup>Si и <sup>30</sup>Si свидетельствует, что применение защитных покрытий позволяет исключить изотопное разбавление на стадии выращивания монокристалла.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.