Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ВЛИЯНИЕ МАГНЕТРОННО НАПЫЛЕННОГО СЛОЯ MnOНА КИНЕТИКУ ТЕРМООКСИДИРОВАНИЯ InP, СОСТАВ И МОРФОЛОГИЮ СИНТЕЗИРОВАННЫХ ПЛЕНОК, "Неорганические материалы"»

Авторы:
  • Третьяков Н.Н.1
  • Миттова И.Я.2
  • Сладкопевцев Б.В.3
  • Самсонов А.А.4
  • Андреенко С. Ю.5
стр. 41-48
Платно
1 Воронежский государственный университет, 2 Воронежский государственный университет, 3 Воронежский государственный университет, 4 Санкт-Петербургский государственный университет, 5 Воронежский государственный университет
Ключевые слова:
  • модифицирование поверхности пленки
  • диффузия
  • высота рельефа
  • размер зерна
Аннотация:
В процессе оптимизации способов эффективного управления процессами формирования наноразмерных функциональных пленок на AB показано, что модифицирование поверхности InP маг-нетронно нанесенными наноразмерными (25 нм) слоями MnO обусловливает транзитный механизм термооксидирования полупроводника. Положительный эффект состоит в увеличении темпа прироста толщины пленок по сравнению с собственным оксидированием, быстром химическом связывании индия с блокированием его диффузии в пленку и интенсификации процессов фосфатообразования. Изменение состава выращенных пленок по сравнению с собственными приводит к значительному улучшению качества их поверхности (высота рельефа не превышает 20 нм, средний размер зерна 55 нм).

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.