Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Особенности выращивания многокомпонентных твердых растворов импульсным лазерным напылением, "Наука юга России"»

Авторы:
  • Лунин Л.С.1
  • Девицкий О.В.2
  • Пащенко А.С.3
  • Донская А.В.4
  • Никулин Д.А.5
стр. 18-23
Платно
1 Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) им. М.И. Платова; Северо-Кавказский федеральный университет, 2 Северо-Кавказский федеральный университет, 3 Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) им. М.И. Платова, 4 Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) им. М.И. Платова, 5 Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) им. М.И. Платова
  • В выпуске: №3, 2023, Том 19
  • В журнале: Наука Юга России
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Междисциплинарные журналы
  • Год выхода: 2023
Ключевые слова:
  • импульсное лазерное напыление
  • твердые растворы
  • GaP
  • полупроводники
  • соединения III–V групп
Аннотация:
На примере выращенных твердых растворов GaInAsP и GaInAsSbBi на подложках GaP с кристаллографической ориентацией (111) изучены особенности импульсного лазерного напыления многокомпонентных твердых растворов на основе соединений III–V групп. Твердые растворы выбраны исходя из обозначенных трудностей при выращивании методом импульсного лазерного напыления в связи с тем, что состоят из двух металлов III группы и трех легколетучих металлоидов V группы. Вследствие актуальности их практического использования для выращивания оптоэлектронных гетероструктур методами рентгеновского энергодисперсионного микроанализа, сканирующей электронной микроскопии и рамановского рассеяния проведен анализ состава твердых растворов и их морфологии. Экспериментально показано, что комбинирование лазерного флюенса и добавления в состав поверхностно-активных элементов, таких как Bi или Sb, позволяет снизить плотность капель на поверхности выращенной пленки на три порядка, а их средний размер уменьшить с 300 до 45 нм. Методом рентгеновского энергодисперсионного микроанализа определено, что капли состоят из индия. Основными причинами нарушения стехиометрии являются капли In и частичная десорбция элементов V группы. Установлено, что источником капель In являются образование жидкой фракции In на поверхности мишени при распылении с флюенсом 2,3 Дж/см2 и высокая поверхностная диффузия In из объема слоя на поверхность. Введение поверхностно-активных элементов в состав твердого раствора приводит к предотвращению десорбции легколетучих элементов V группы, например мышьяка. Повышением лазерного флюенса и подбором состава твердого раствора можно улучшать морфологию тонких пленок, выращенных методом импульсного лазерного напыления.

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%