Статья «ФАЗОВЫЕ ПЕРЕХОДЫ И МЯГКИЕ МОДЫ В ДВУХСЛОЙНЫХ СТРУКТУРАХ НА ОСНОВЕ ТИТАНАТА БАРИЯ-СТРОНЦИЯ НА КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ, "Наука Юга России"»

Эпитаксиальный рост сегнетоэлектрических тонких пленок на подложках с различным несоответствием параметров решетки является эффективным инструментом для модификации их фазовых состояний (сегнетоэлектрических фаз). Для целенаправленного управления функциональными свойствами тонких пленок требуется детальное понимание связи между деформацией решетки и типом сегнетоэлектрических фаз. Такая информация может быть найдена в фазовых диаграммах, полученных из анализа свободной энергии Гиббса в рамках термодинамической теории Ландау - Гинзбурга - Девоншира. Твердые растворы титаната бария-стронция благодаря своим уникальным свойствам широко используются в различных областях микроэлектроники. Найденные термодинамические потенциалы для всего ряда этих твердых растворов позволяют не только выполнить модельный анализ для фиксированного состава, но и исследовать различные сочетания слоевых структур. В данной работе рассмотрены гетероструктуры BaSrTiO - BaSrTiO разной последовательности на подложке монокристаллического кремния. На основе термодинамической теории для структуры с этими слоями построена диаграмма, характеризующая фазовые состояния структуры в зависимости от величины деформации в каждом слое. На основе экспериментальных данных определены температурные параметры вынужденной деформации в слоях для гетероструктур с различной последовательностью слоев. Эти данные использованы для анализа температурной зависимости мягких мод в каждом слое. Различная последовательность нанесения слоев BaSrTiO и BaSrTiO приводит к вариациям фазовых состояний в таких гетроструктурах и, следовательно, к различному температурному поведению мягких мод.