Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ИССЛЕДОВАНИЕ ФАКТОРА КОРРЕЛЯЦИИ РЕЛЬЕФОВ ПОДЛОЖКИ И МНОГОСЛОЙНОГО ПОКРЫТИЯ МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ, "Кристаллография"»

Авторы:
  • Грищенко Ю.В.1
  • Занавескин М.Л.2
стр. 484-
Платно
1 НБИКС-Центр НИЦ “Курчатовский институт”, Москва, 2 НБИКС-Центр НИЦ “Курчатовский институт”, Москва
Аннотация:
Разработан метод изучения корреляции рельефов подложки и пленочного покрытия методом атомно-силовой микроскопии, позволяющий рассчитать фактор корреляции, являющийся функцией пространственной частоты. Установлен диапазон пространственных частот, в котором рассчитываемый фактор корреляции является достоверным. С помощью предложенного метода для многослойных интерференционных зеркальных элементов рассчитана зависимость фактора корреляции от пространственной частоты.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.