Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ПОВЕДЕНИЯ ТРИМЕТИЛБОРАТА КАК ПРЕКУРСОРА ПРИ ОСАЖДЕНИИ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ БОРСОДЕРЖАЩИХ ПЛЕНОК, "Журнал неорганической химии"»

Авторы:
  • Косяков В.И.1
  • Шестаков В.А.2
  • Косинова М.Л.3
стр. 777-780
Платно
1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, 2 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, 3 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия
Ключевые слова:
  • триметилборат
  • термодинамическое моделирование
  • химическое осаждение из газовой фазы
  • CVD диаграммы
Аннотация:
Проведено термодинамическое моделирование процесса химического осаждения борсодержащих пленок из газовой фазы с использованием в качестве предшественника триметилбората в интервале давлений 0.03 ? Р, торр ? 760 и температур 300 ? Т, K ? 2000. Установлено, что на CVD диаграмме такой системы присутствуют области существования следующих фазовых комплексов: В + В4С, В4С + В2О3, С + В2О3 + + В4С, С + В2О3, С + В2О3 + НВО2, С + НВО2, С + В4С, а также фазы В4С.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.