Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «МОЛЕКУЛЯРНОЕ НАСЛАИВАНИЕ НАНОСЛОЕВ НИТРИДА КРЕМНИЯ, "Журнал физической химии"»

Авторы:
  • Ежовский Ю.К.1
стр. 1207-1210
Платно
1 Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)
Ключевые слова:
  • кремний-азотные нанослои
  • метод молекулярного наслаивания
  • процесс формирования
Аннотация:
Представлены обобщенные результаты изучения процесса формирования кремний-азотных нанослоев, полученных методом молекулярного наслаивания на поверхности кремния (100) в диапазоне температур 373-873 К. Определены условия роста наноструктур нитрида кремния и слоевого механизма их формирования.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.