Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЗМОВ ВВОДА И ПРЕОБРАЗОВАНИЯ ЭНЕРГИИ В ВЫСОКОЧАСТОТНОМ ИНДУКЦИОННОМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ, "Известия Российской академии наук. Энергетика"»

Авторы:
  • ПИСКУНКОВ А.Ф.1
  • Рябый В.А.2
стр. 58-65
Платно
1 Научно-исследовательский институт прикладной механики и электродинамики федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования “Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)”, 2 Научно-исследовательский институт прикладной механики и электродинамики федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования “Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)”
  • SDI: 007.001.0002-3310.2016.000.002.58.65
  • ISSN: 0002-3310
  • УДК: 537.523.74
Ключевые слова:
  • ВЧ индукционный разряд
  • плазма
  • скин-слой
  • электроны
  • ионизация
  • RF ICP discharge
  • plasma
  • skin sheath
  • electrons
  • ionization
Аннотация:
Предложена модель высокочастотного индукционного (ВЧИ) разряда цилиндрической геометрии, токовая цепь которого включает подвижный токовый слой и скин-слой на границе плазмы с индуктором. Токовый слой представлен как магни- то-электростатическая ловушка, захватывающая электроны с малыми пинч-углами, ионизирующие атомы газа. Движение этого слоя в магнитном поле индуцирует электрическое поле, поддерживающее ток. При оптимальной рабочей частоте за время полупериода тока магнитное поле определенного знака в процессе конвективной диффузии заполняет все газоразрядное пространство. В следующем полупе- риоде происходит заполнение разрядного пространства полем противоположного знака. Омические потери в токовом слое компенсируются в процессе аннигиляции магнитного поля. Токовые слои имеют форму одновитковых спиралей, замкнутых на торцевых границах плазменной области. Концентрация захваченных подвижным слоем частиц находится из равенства потоков “вмороженных” электронов, входящих в слой и уходящих из него в процессе однократных кулоновских столкновений при рассеянии на угол, равный пинч-углу. Потери мощности разряда, цена иона, оптимальная частота генератора и температура электронов рассчитаны для различных давлений аргона. Сравнение с опубликованными экспериментальными данными показало, что предложенная модель удовлетворительно определяет энергетические характеристики ВЧИ разряда.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.