Статья «Влияние толщины бислоя наноструктурного многослойного покрытия MoN/CrN на его микроструктуру, твердость и элементный состав, "Физика твердого тела"»

Многослойные наноструктурные покрытия, состоящие из чередующихся слоев MoN и CrN, получены методом вакуумно-дугового испарения катода при различных условиях осаждения. Переход от микронных размеров бислоев к нанометровому масштабу в исследуемых покрытиях приводит к росту нанотвердости от 15 до 35.5 GPa (при толщине слоя порядка 35 nm). В то же время с уменьшением количества бислоев в покрытии среднее значение твердости по Виккерсу увеличивается от 1267HVo.o до 3307HVo.o. Повышение величины подаваемого на подложку потенциала от -20 до -150 V приводит к формированию в слоях покрытий текстуры роста с осью [100], а также к увеличению интенсивности рефлексов с ростом толщины бислоев. Элементный анализ, проведенный с помощью резерфордовского обратного рассеяния, вторичной ионной масс-спектрометрии и энергодисперсионных спектров, показал хорошее разделение слоев MoN и CrN вблизи поверхности покрытий.