Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Сравнительный анализ деформационных полей в слоях метаморфных ступенчатых буферов различного дизайна, "Физика твердого тела"»

Авторы:
  • Алёшин А.Н.1
  • Бугаев А. С.2
  • Рубан О.А.3
  • Табачкова Н. Ю.4
  • Щетинин И.В.5
стр. 1956-1963
Платно
1 Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники РАН, 2 Московский физико-технический институт; Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. Котельникова РАН, 3 Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники РАН, Москва, 4 Национальный исследовательский технологический университет “МИСИС”, 5 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования “Национальный исследовательский технологический университет МИСиС”, Москва
Аннотация:
Методом построения карт обратного пространства, полученных с помощью трехосевой рентгеновской дифрактометрии, и на основе линейной теории упругости получены пространственные распределения остаточных упругих деформаций в слоях двух метамофных ступенчатых буферов различного дизайна, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии на основе тройных растворов In Al As на подложках (001) GaAs. Разница в дизайне буферов обеспечивала образование в каждой из гетероструктур бездислокационного слоя с различной толщиной, что явилось основным базисом данного исследования. Показано, что, несмотря на различный дизайн метаморфных ступенчатых буферов, характер деформационных полей в них один и тот же, а остаточные упругие деформации в финальных элементах обоих буферов с учетом поправки на эффект деформационного упрочнения подчиняются тому же феноменологическому закону, который описывает процесс структурной релаксации в однослойных гетероструктурах.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.