Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ИССЛЕДОВАНИЕ ТРАВЛЕНИЯ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ В РАЗРЯДЕ ПОСТОЯННОГО ТОКА В ХЛОР-ВОДОРОД СОДЕРЖАЩИХ СМЕСЯХ ПРИ НИЗКОМ ДАВЛЕНИИ, "Физика плазмы"»

Авторы:
  • Дунаев А.В.1
  • Мурин Д.Б.2
стр. 390-396
Платно
1 Ивановский государственный химико-технологический университет, 2 Ивановский государственный химико-технологический университет
  • В выпуске: №4, 2018, Том 44
  • В журнале: Физика плазмы
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Физика
  • Год выхода: 2018
Аннотация:
Для формирования топологии на поверхности полупроводников часто применяется галогенсодержащая плазма, поэтому спектральный контроль процесса травления представляет собой актуальную методику в современной электронике. В работе изучены спектры излучения плазмообразующих газов смесей хлора/хлороводорода с аргоном, хлором и водородом в присутствии полупроводниковой пластины арсенида галлия. Выбраны линии и полосы для спектрального контроля скорости процесса травления по интенсивности излучения линий и полос продуктов травления. Показано, что связь между интенсивностью излучения продуктов травления GaAs и скоростью травления в плазме смесей хлороводорода с аргоном и хлором описывается прямо пропорциональной зависимостью, что указывает на возможность контроля процесса травления спектральным методом в реальном времени.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.