Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ВЛИЯНИЕ СТОЛКНОВЕНИЙ НА РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПО УГЛАМ ИОНОВ ПРИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОМ ТРАВЛЕНИИ, "Физика плазмы"»

Авторы:
  • Девятко Ю. Н.1
  • Фадеев А.В.2
стр. 683-688
Платно
1 Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"; Физико-технологический институт РАН, 2 Физико-технологический институт Российской АН
  • В выпуске: №8, 2017, Том 43
  • В журнале: Физика плазмы
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Физика
  • Год выхода: 2017
Аннотация:
При плазмохимическом травлении высокоаспектных структур важнейшим параметром, отвечающим за качество получаемых структур, является распределение ионов по углам вблизи поверхности обрабатываемых пластин. В работе изучено влияние столкновений на функции распределения по углам ионов и химически активных радикалов в зависимости от давления газа в камере плазмохимического реактора плотной плазмы с удаленным источником плазмообразования.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.