Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Влияние температуры измерения на люминесцентные свойства (113) дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода, "Физика и техника полупроводников"»

Авторы:
  • Соболев Н.А.1
  • Калядин А.Е.2
  • Шек Е.И.3
  • Штельмах К.Ф.4
  • Смирнов А.Н.5
стр. 1182-1184
Платно
1 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН Россия, 194021, Санкт-Петербург, ул. Политехническая, 26, 2 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, 3 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, 4 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, 5 Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Биологический факультет
Аннотация:
Исследовано влияние температуры измерения в диапазоне 5-130K на спектры ФЛ (113) дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода с энергией 350кэВ и дозой 3.7 • 10см и отожженном при 700° C в течение 1ч в хлорсодержащей атмосфере. Температурная зависимость интенсивности линии характеризуется участками возгорания интенсивности с энергией 23.1 мэВ и гашения интенсивности с энергиями 41.9 и 178.3 мэВ. С ростом температуры полуширина увеличивается.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.