Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Особенности процесса спекания макропористого кремния в атмосфере аргона, "Физика и техника полупроводников"»

Авторы:
  • Астрова Е.В.1
  • Преображенский Н.Е.2
  • Павлов С.И.3
  • Воронков В.Б.4
  • Оганесян Г.А.5
стр. 1213-1222
Платно
1 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН Санкт-Петербург, Политехническая ул., 26, Россия, 2 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 3 Институт физики им. Фока С.-Петербургского государственного университета, 4 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе, РАН Россия, 194021, С.-Петербург, Политехническая ул., 26, 5 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт эволюционной физиологии и биохимии имени И.М. Сеченова РАН
Аннотация:
Исследованы температурная и временная зависимости процесса спекания макропористого кремния в Ar и Ar + 3%H. Определен вклад различных механизмов, определяющих этот процесс. Особенности спекания макропористого кремния изучались с помощью изохронных и изотермических отжигов на образцах с регулярными и случайными макропорами в диапазоне 1000-1225°С. Установлено, что на спекание макропористого кремния при атмосферном давлении в потоке инертного газа, содержащего 2 • 10%0, существенное влияние оказывает термическое травление. Термическое травление конкурирует с процессами переноса вещества, характерными для спекания, и препятствует формированию на поверхности бездефектной корки. Причиной травления является образование газообразной моноокиси кремния, которая уносится вместе с потоком газа. Эффект травления преобладает в области низких температур и не зависит от добавки водорода. Полученные значения энергии активации коэффициента диффузии E = 2.57 эВ и показатель степени n = 3.31-3.74 в зависимости радиуса пор от времени r ~ t свидетельствуют о смешанном механизме переноса вещества с помощью поверхностной и объемной диффузии атомов кремния.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.