Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Взаимодиффузия и фазообразование в тонкопленочной системе Fe-TiO, "Физика и техника полупроводников"»

Авторы:
  • Афонин Н.Н.1
  • Логачева В.А.2
стр. 1351-1356
Платно
1 Воронежский государственный педагогический университет, 2 Воронежский государственный университет
Аннотация:
Методами рентгенофазового анализа, вторично-ионной масс-спектрометрии, атомно-силовой микроскопии и математического моделирования исследовано взаимодействие магнетронным способом распыленного металлического железа с пленками оксида титана в процессе изотермического вакуумного отжига. Предложен механизм формирования сложных оксидов на границах зерен, основанный на реакционной диффузии металла Fe в оксид титана. Разработана количественная модель реакционной взаимодиффузии в двухслойных поликристаллических пленочных системах металл-оксид с ограниченной растворимостью компонентов. Численным анализом экспериментальных концентрационных распределений металлов в пленочной системе Fe-TiO определены значения индивидуальных коэффициентов диффузии: железа 8.0 • 10см/с и титана 3.0 • 10 см/с в условиях вакуумного отжига при 1073 K.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.