Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «СИНТЕЗ И СВОЙСТВА ПЛЕНОК, ОБРАЗУЮЩИХСЯ ИЗ ПАРОВ ТЕТРАМЕТИЛСИЛАНА В ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМЕ ВЧ РАЗРЯДА, "Физика и химия стекла"»

Авторы:
  • Румянцев Ю.М.1
  • Чагин М.Н.2
  • Шаяпов В.Р.3
  • Юшина И.В.4
  • Кичай В.Н.5
  • Косинова М.Л.6
стр. 223-234
Платно
1 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия, 2 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО Российской академии наук Новосибирск, 3 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО Российской академии наук, Новосибирск, 4 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, г. Новосибирск, 5 Институт неорганической химии СО Российской академии наук, Новосибирск, 6 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия
  • SDI: 007.001.0132-6651.2018.044.003.2
Ключевые слова:
  • индуктивно-связанная плазма
  • тетраметилсилан
  • пленки гидрогенизированного карбида и карбонитрида кремния
Аннотация:
Синтез тонких пленок гидрогенизированного карбида SiC:H и карбонитрида SiCN:H кремния осуществлялся в реакторе с индуктивно-связанной плазмой ВЧ разряда с использованием паров тетраметилсилана и дополнительных газов аргона и/или азота. Процесс проводился при различных температурах, мощностях плазмы и парциальном давлении тетраметилсилана и дополнительных газов в реакторе. Получены зависимости скорости роста, химического состава пленок, а также некоторых их свойств - коэффициента пропускания света, показателя преломления, оптической ширины запрещенной зоны, коэффициента диэлектрической проницаемости - от условий синтеза. Характерной особенностью исследуемого процесса является слабая зависимость состава и свойств пленок от задаваемых условий синтеза в изученном диапазоне изменения параметров. Рассмотрены возможные причины этого явления и результаты проведенного исследования in situ состава газовой фазы в плазме

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.