Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА И МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК НИТРИДА ТИТАНА, СИНТЕЗИРОВАННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОНОГО РАСПЫЛЕНИЯ С ГОРЯЧЕЙ МИШЕНЬЮ, "Физика и химия стекла"»

Авторы:
  • Шаповалов В.И.
  • УСЕИНОВ А.С.
  • КРАВЧУК К.С.
  • Гладких Е. В.1
  • Козин А. А.2
  • Смирнов В.В.3
стр. 538-542
Платно
1 Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов, 2 Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет им. В. И. Ульянова (Ленина) «ЛЭТИ», 3 Институт вычислительных технологий
  • SDI: 007.001.0132-6651.2017.043.005.14
Ключевые слова:
  • нитрид титана
  • пленка
  • магнетрон
  • горячая мишень
  • кристаллическая структура
  • нанотвердость
  • модуль Юнга
Аннотация:
Методом рентгенофазового анализа изучено влияние расхода азота и плотности тока разряда на кристаллическую структуру пленок нитрида титана, синтезированных методом реактивного магнетронного распыления горячей мишени на постоянном токе. Установлено, что в пленках образуется фаза нитрида титана кубической сингонии. Повышение плотности тока приводит в пленках к текстурированию кристаллов параллельно плоскости (111). При этом существенно возрастают твердость и модуль нормальной упругости.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%