Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ОБЕСПЕЧЕНИЕ НАДЁЖНОСТИ СОВРЕМЕННЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ. Часть 1. Принципы обеспечения качества и надёжности в промышленной технологии производства ИС, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Горнев Е.С.1
стр. 52-68
Платно
1 Научно-исследовательский институт молекулярной электроники и завод Микрон
Аннотация:
Рассмотрены базовые принципы обеспечения качества и надёжности микросхем на основе уменьшения дефектности, выявления причинных факторов, влияющих на бесперебойное функционирование производства и скрытых отказов, использования статистических методов контроля технологического процесса и продукции, анализа техпроцесса производства по тестовым ячейкам. Показано, что ввиду того, что дефекты, воздействующие на выход годных и надёжность, имеют одну и ту же первопричину, увеличение выхода годных за счет снижения дефектов будет повышать и надёжность. Представлены некоторые результаты работ НИИМЭ и завода Микрон по повышению качества и надёжности создаваемых интегральных микросхем.
Пожалуйста, авторизуйтесь, чтобы получить бесплатный доступ к статье.