Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «АНИЗОТРОПИЯ ПЛАСТИЧЕСКОЙ РЕЛАКСАЦИИ В ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ ПЛЕНКАХ НА ОТКЛОНЕННЫХ Si(001) ПОДЛОЖКАХ, "Известия Российской академии наук. Серия физическая"»

Авторы:
  • Лошкарев И.Д.1
  • Труханов Е.М.2
  • Колесников А.В.3
  • Пчеляков О.П.4
  • Ильин А.С.5
стр. 645-648
Платно
1 Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников имени А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, 2 Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников имени А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, 3 Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников имени А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, 4 Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников имени А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, 5 Учреждение Российской академии наук Институт Физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск
Аннотация:
Развита методика расчета структурных параметров полупроводниковых эпитаксиальных слоев на подложках вицинальной ориентации (001). Показано, что разность тензора упругих деформаций пленки и шарового тензора деформаций, переводящего кристаллическую решетку пленки в решетку подложки, является тензором, компоненты которого пропорциональны рентгеновским деформациям. Методика использована для анализа пленок GaAs и GeSi, выращенных на подложках Si(1 1 13). В пленке GeSi для направлений перпендикулярно и параллельно ступеням установлена анизотропия степени пластической релаксации. Для обозначения направления и величины разворота кристаллической решетки пленки относительно подложки предложено использовать нецелые индексы Миллера.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%