Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «СРАВНИТЕЛЬНОЕ ТЕСТИРОВАНИЕ СВОБОДНО ВИСЯЩИХ МНОГОСЛОЙНЫХ ФИЛЬТРОВ Mo/ZrSi2 И Mo/NbSi2 ПО ТЕРМОСТАБИЛЬНОСТИ, "Известия Российской академии наук. Серия физическая"»

Авторы:
  • Пестов А.Е.1
  • Салащенко Н.Н.2
  • Чхало Н.И.3
  • Дроздов М.Н.4
  • Клюенков Е.Б.5
  • Лопатин А.Я.6
  • Лучин В.И.7
  • Цыбин Н.Н.8
  • Шмаенок Л.А.9
стр. 94-
Платно
1 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН), 2 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН), 3 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН), 4 Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, 5 Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, 6 Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, 7 Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, 8 Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, 9 PhysTeX, Vaals, Netherlands
Аннотация:
Изучена термическая стабильность многослойных тонкопленочных фильтров Mo/ZrSi2 и Mo/NbSi2 в температурном интервале 840?940°C при долговременном нагреве в вакууме. До и после лазерного или токового отжига измерялось пропускание фильтра и проводился послойный ВИМС-анализ структуры. Сравнительное тестирование показало, что структура Mo/NbSi2 менее термостабильна при высоких тепловых нагрузках.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%