Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «БЕРИЛЛИЕВЫЕ РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЧЕСКИЕ ШАБЛОНЫ, "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования"»

Авторы:
  • Генцелев А.Н.1
  • Гольденберг Б.Г.2
  • Зелинский А.Г.3
  • Лемзяков А.Г.4
стр. 58-
Платно
1 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения Российской академии наук (ИЯФ СО РАН), Новосибирск., 2 Учреждение Российской академии наук Институт ядерной физики СО РАН, Новосибирск., 3 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии твердого тела и механохимии Сибирского отделения Российской академии наук (ИХТТМ СО РАН), Новосибирск., 4 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения Российской академии наук (ИЯФ СО РАН), Новосибирск.
Аннотация:
Описана простая технология производства рентгенолитографических шаблонов с бериллиевыми несущими мембранами толщиной 50 100 мкм с различными типами маскирующего покрытия: в виде сформированных гальваническим осаждением металлических слоев или в виде толстой (толщиной 0.13 1.10 мм) резистивной маски, выполненной, в том числе, и из сенсибилизированного рентгенорезиста. Бериллиевые шаблоны характеризуются относительной простотой изготовления, геометрической стабильностью, практически полным отсутствием флуоресцентного излучения, низкой себестоимостью, высокими уровнями механической прочности, радиационной стойкости и рентгенопрозрачности несущей мембраны. Благодаря этому они могут применяться не только в диапазоне ультракоротких (0.5?3.0 A) длин волн рентгеновского излучения, но и в диапазоне 3?7 A. Приведены фотографии первых образцов таких шаблонов и расчетные графики, иллюстрирующие их основные литографические параметры.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.