Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «РЕНТГЕНОВСКАЯ ДИАГНОСТИКА МНОГОСЛОЙНЫХ HEMT-ГЕТЕРОСТРУКТУР InAlAs/InGaAs/InAlAs С НАНОРАЗМЕРНОЙ ВСТАВКОЙ InAs В КВАНТОВУЮ ЯМУ, "Кристаллография"»

Авторы:
  • Благов А.Е.1
  • Галиев Г.Б.2
  • Имамов Р.М.3
  • Климов Е.А.4
  • Кондратьев О.А.5
  • Писаревский Ю.В.6
  • Просеков П.А.7
  • Пушкарев С.С.8
  • Серегин А.Ю.9
  • Ковальчук М.В.10
стр. 355-363
Платно
1 Институт кристаллографии РАН, Москва, 2 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники Российской академии наук, Москва, Россия., 3 Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники РАН, Москва, 4 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники Российской академии наук, Москва, Россия., 5 Институт кристаллографии РАН, Москва, 6 Институт кристаллографии РАН, Москва, 7 Институт кристаллографии РАН, Москва, 8 Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники РАН, Москва, 9 Институт кристаллографии РАН, Москва, Россия, 10 Институт кристаллографии РАН, Москва
Аннотация:
Представлены результаты исследования HEMT-гетероструктур In.Al.As/In.Ga.As/In.Al.As на подложках InP с упруго напряженной вставкой InAs в составную квантовую яму. Применен подход на основе сочетания рентгеновских методов двухкристальной дифрактометрии, рефлектомет-рии и картирования обратного пространства, позволивший получить детальную взаимодополняющую информацию о слоистой и реальной кристаллической структуре исследуемых образцов. Получены данные, позволившие провести структурную диагностику исследуемых многослойных систем и сопоставить их с заданными технологическими параметрами, что позволяет корректировать и совершенствовать технологию выращивания HEMT-гетероструктур.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.