Статья «ФАЗОВЫЙ СОСТАВ, СТРУКТУРА И МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ВАКУУМНО-ДУГОВЫХ ПОКРЫТИЙ СИСТЕМ Mo-Si-Al И Mo-Si-Al-N, "Неорганические материалы"»

Методом ионно-плазменного вакуумно-дугового напыления получены наноструктурные покрытия Mo-Si-Al с однородным распределением равноосных зерен размером 8-12 нм и Mo-Si-Al-N с многослойной структурой и периодом модуляции 22-25 нм. Полученные покрытия многофазны. В них присутствуют MoSi и Mo; MoN и аморфные SiN и AlN соответственно. Покрытия систем Mo-Si-Al-N и Mo-Si-Al имеют твердость 41 и 18 ГПа соответственно при одинаковом сопротивлении упругой деформации и значительно большем сопротивлении покрытия Mo-Si-Al-N пластической деформации. Коэффициенты трения покрытий примерно одинаковы (~0.67-0.69 при 20°С и ~0.52-0.56 при 550°С), однако покрытия Mo-Si-Al-N имеют износ на 3 и 2 порядка меньше при 20 и 550°С соответственно. Покрытия обоих составов характеризуются высокой адгезией к основе и когезионным разрушением. Их частичное истирание в процессе измерительного царапания происходит при нагрузках 80 и 63 Н соответственно для систем Mo-Si-Al и Mo-Si-Al-N.