Войти в личный кабинет
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти в личный кабинет
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Труды Физико-технологического института. Т. 26.

Авторы

Лукичёв В.Ф.


* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 18%

Форматы, доступные для скачивания после покупки

pdf
  • Год: 2017
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика: Информационные (компьютерные) технологии
  • Объем страниц: 136
  • SDI: 007.001.978-5-02-039983-9
  • ISBN: 978-5-02-039983-9
Аннотация:
В настоящее время происходит бурное развитие технологий и приложений МНЭМС. Это, несомненно, связано с возможностью использования кремниевых (и не только) технологий микро- и наноэлектроники, а также всех видов САПР, применяемых в производстве ИС. Представленный сборник освещает лишь небольшую часть спектра возможных устройств, исследуемых в Физико-технологическом институте РАН. Первые две статьи посвящены «нестандартной» возможности использования механических систем в качестве элемента квантового бита. Далее рассматривается технология ключей с малыми управляющими напряжениями, что является актуальной проблемой, а также представлена статья по моделированию ключа с пружинным подвесом. В следующей статье описана технология глубокого анизотропного травления при изготовлении микроакселерометра. В трех последних статьях авторы несколько отступают от традиционного понимания МНЭМС, тем не менее, в них описана технология быстрых нейтральных пучков, которая может быть успешно применена и к производству таких систем. Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 18%