Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Труды Физико-технологического института. Т. 26: Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование

Proccedings of the Physio-Technological Institute. Vol. 26: Quantum computers, micro- and nanoelectronics: physics, technology, diagnostics and modeling

Авторы

Лукичёв В.Ф.



Авторизуйтесь, чтобы получить бесплатный доступ к тексту работы.
  • Год: 2017
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика: Электротехника
  • Объем, страниц: 136
  • SDI: 007.001.978-5-02-039983-9
  • ISBN: 978-5-02-039983-9
Аннотация:
В настоящее время происходит бурное развитие технологий и приложений МНЭМС. Это, несомненно, связано с возможностью использования кремниевых (и не только) технологий микро- и наноэлектроники, а также всех видов САПР, применяемых в производстве ИС. Представленный сборник освещает лишь небольшую часть спектра возможных устройств, исследуемых в Физико-технологическом институте РАН. Первые две статьи посвящены «нестандартной» возможности использования механических систем в качестве элемента квантового бита. Далее рассматривается технология ключей с малыми управляющими напряжениями, что является актуальной проблемой, а также представлена статья по моделированию ключа с пружинным подвесом. В следующей статье описана технология глубокого анизотропного травления при изготовлении микроакселерометра. В трех последних статьях авторы несколько отступают от традиционного понимания МНЭМС, тем не менее, в них описана технология быстрых нейтральных пучков, которая может быть успешно применена и к производству таких систем. Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.

Авторизуйтесь, чтобы получить доступ к полному тексту произведения.