Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «СТРУКТУРНЫЙ ВКЛАД В ШЕРОХОВАТОСТЬ СВЕРХГЛАДКОЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ, "Кристаллография"»

Авторы:
  • Буташин А.В.1
  • Муслимов А.Э.2
  • Каневский В.М.3
  • Дерябин А.Н.4
  • Павлов В.А.5
  • Асадчиков В.Е.6
стр. 473-
Платно
1 Институт кристаллографии РАН, Москва, 2 Институт кристаллографии РАН, Москва, 3 Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН, Москва, 4 Институт физиологии растений им. К.А. Тимирязева РАН, 5 ГБОУ ВПО «Тихоокеанский государственный медицинский университет» Минздрава России, 6 Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН
Аннотация:
Развитие технологии обработки кристаллов (Si, сапфир <img src="/ItemImages/1115762/18950944/FO_1_1.gif" align=absmiddle border=0> -Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>, SiC, GaN, LiNbO<sub>3</sub>, SrTiO<sub>3</sub> и др.) как подложечных материалов и элементов рентгеновской оптики привело к получению сверхгладкой поверхности, на которой проявляется периодичность, присущая строению кристаллов. Периодические структуры образованы атомно-гладкими террасами и ступенями нано- и субнанометровых размеров соответственно. Предложена модель поверхности с такими наноструктурами, и определены соотношения параметров ее шероховатости с высотой атомных ступеней. Рассчитанные по приведенным соотношениям параметры шероховатости практически совпадают с экспериментальными данными, полученными атомно-силовой микроскопией с участков площадью 1 ? 1 и 10 ? 10 мкм на поверхности сапфировых пластин со ступенями. На основе предложенного подхода рассчитаны минимальные параметры шероховатости вицинальных поверхностей кристаллов, которые обусловлены структурным вкладом. Проведено сравнение рельефа и параметров шероховатости поверхностей сапфировых пластин с различным качеством полировки и установлено существование размерного эффекта, заключающегося в том, что с уменьшением величины шероховатости поверхности распределение высоты рельефа меняется от стохастического к регулярному.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.