Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ФОРМИРОВАНИЕ НАНОСТРУКТУР НА СТЕНДЕ ЭУФ-ЛИТОГРАФА-МУЛЬТИПЛИКАТОРА. ПЕРВЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ, "Известия Российской академии наук. Серия физическая"»

Авторы:
  • Волгунов Д.Г.1
  • Пестов А.Е.2
  • Салащенко Н.Н.3
  • Торопов М.Н.4
  • Чхало Н.И.5
стр. 4-
Платно
1 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН), 2 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН), 3 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН), 4 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН), 5 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики микроструктур Российской академии наук (ИФМ РАН)
Аннотация:
Демонстрируются первые литографические изображения в резистах, полученные с помощью метода проекционной литографии на длине волны 13.5 нм. Приводятся данные по скоростям засветки фоторезиста и загрязнения поверхности коллектора. Анализируются факторы, ограничивающие пространственное разрешение проекционной схемы.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.