Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Измерение толщины блочных пленок висмута методом атомно-силовой микроскопии с применением избирательного химического травления, "Физика и техника полупроводников"»

Авторы:
  • Демидов Е.В.1
  • Комаров В.А.2
  • Крушельницкий А.Н.3
  • Суслов А.В.4
стр. 877-879
Платно
1 Институт физики микроструктур РАН, ул. Ульянова, 46, 603950 Нижний Новгород, Россия, 2 Научно-исследовательский институт оптико-электронного приборостроения, 188540 Ленинградская обл., Сосновый Бор, Россия, 3 Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, 4 Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена
  • SDI: 007.001.0015-3222.2017.051.007.4
Аннотация:
С использованием атомно-силовой микроскопии и избирательного химического травления предложен способ измерения толщины блочных пленок. Предложенный способ апробирован для тонких пленок висмута на слюде, полученных методом термического испарения в вакууме.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.