Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Сплавные омические контакты на основе Si/Al к нитридным гетеросистемам AlGaN/GaN, "Физика и техника полупроводников"»

Авторы:
  • Слаповский Д.Н.1
  • Павлов А.Ю.2
  • Павлов В.Ю.3
  • Клековкин А.В.4
стр. 461-466
Платно
1 Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук; Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники Российской академии наук, 2 Институт СВЧ полупроводниковой электроники Российской АН Российская Федерация, 117105, г. Москва, Нагорный проезд, 7, стр. 5, 3 Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники Российской академии наук, 4 Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники Российской академии наук; Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук
Аннотация:
Впервые в России исследована сплавная контактная композиция Si/Al/Ti/Au для формирования омических контактов к гетероструктурам AlGaN/GaN с использованием температурного отжига. Проведено сравнение полученных результатов с традиционными омическими контактами Ti/Al/Ni/Au. Использование исследуемой композиции позволило снизить температуру отжига до 675-700°C, что привело к улучшению морфологии сплавных омических контактов по сравнению с традиционными. Были получены зависимости значения контактного сопротивления с использованием композиции на основе Si/Al к гетероструктуре AlGaN/GaN от температуры и длительности температурного отжига. Показано, что в диапазоне температур 700-750°C качественного изменения сопротивления не происходит при длительности отжига несколько минут. В диапазоне температур 675-700°C идет асимптотическое уменьшение удельного контактного сопротивления при увеличении длительности отжига. Минимальное значение удельного контактного сопротивления составило 0.41 Ом • мм.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.