Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Текстура поверхности монокристаллического кремния, окисленного под тонким слоем VO, "Физика и техника полупроводников"»

Авторы:
  • Никитин С.Е.1
  • Нащекин А. В.2
  • Терукова Е.Е.3
  • Трапезникова И.Н.4
  • Бобыль А.В.5
  • Вербицкий В.Н.6
стр. 105-110
Платно
1 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 2 Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе, 3 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук; ООО „НТЦ тонкоплeночных технологий в энергетике при ФТИ им. А.Ф. Иоффе“, 4 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 5 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 6 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
  • SDI: 007.001.0015-3222.2017.051.001.19
Аннотация:
Исследован процесс текстурирования поверхности монокристаллического кремния, окисленного под слоем VO. Интенсивное окисление кремния на границе Si-VO начинается при температуре 903 K, что на 200 K ниже, чем при термическом окислении кремния в атмосфере кислорода. На границе VO -Si образуется слой диоксида кремния толщиной от 30-50 нм с включениями SiO в кремний глубиной до 400 нм. Найдено значение коэффициента диффузии атомарного кислорода при 903 K через слой диоксида кремния (D > 2 • 10 см • с). Предложена модель низкотемпературного окисления кремния, основанная на диффузии атомарного кислорода из V2O5 через слой SiO2 к кремнию и возникновении преципитатов SiO в кремнии. После удаления слоев VO и диоксида кремния на поверхности кремния образуется текстура, интенсивно рассеивающая свет в области длин волн 300-550нм, что важно для текстурирования фронтальной и тыльной поверхностей солнечных фотопреобразователей.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.