Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «Формирование и свойства захороненного изолирующего слоя двуокиси кремния в двухслойных структурах „пористый кремний-на-изоляторе“, "Физика и техника полупроводников"»

Авторы:
  • Болотов В.В.1
  • Князев Е.В.2
  • Пономарева И.В.3
  • Кан В.Е.4
  • Давлеткильдеев Н.А.5
  • Ивлев К.Е.6
  • Росликов В.Е.7
стр. 51-55
Платно
1 Российская академия наук, Сибирское отделение, Омский научный центр, 2 Омский филиал Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Омск, Россия, 3 Омский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук, 4 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Омский научный центр СО РАН, 5 Российская академия наук, Сибирское отделение, Омский научный центр, 6 Омский научный центр СО РАН, 644024 Омск, Россия, 7 Омский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук
  • SDI: 007.001.0015-3222.2017.051.001.10
Аннотация:
Изучен процесс окисления мезопористого кремния в двухслойной структуре „макропористый кремний-мезопористый кремний“. Методами электронной микроскопии, эллипсометрии, электрофизическими измерениями исследована морфология и диэлектрические свойства получаемого слоя захороненного диэлектрика. Определено наличие специфического вида дефектов „шипов“, возникающих при окислении стенок макропор в макропористом кремнии, границ пересечения фронтов окисления мезопористого кремния. Установлено, что при исходной пористости мезопористого кремния 60% и трехстадийном термическом окислении формируются захороненные слои двуокиси кремния с напряженностью электрического поля пробоя Бы ~ 10-10В/см. Показана перспективность применения многослойных структур „пористый кремний-на-изоляторе“ в интегрированных химических микро- и наносенсорах.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.