Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДА РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКТОМЕТРИИ СКОЛЬЗЯЩЕГО ПАДЕНИЯ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ПЛЕНОК, "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования"»

Авторы:
  • Юнин П. А.1
  • Дроздов Ю.Н.2
  • Гусев Н.С.3
стр. 74-77
Платно
1 Институт физики микроструктур РАН, 2 Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН, Нижний Новгород, 3 Институт физики микроструктур, 607680 Нижний Новгород, Россия
Ключевые слова:
  • пленки тантала
  • малоугловая рентгеновская рефлектометрия
  • рентгеновская дифракция в геометрии скользящего падения
  • tantalum films
  • small-angle X-ray reflectometry
  • grazing incidence X-ray diffraction
Аннотация:
На примере пленок тантала рассмотрены особенности анализа тонких пленок методами малоугловой рентгеновской рефлектометрии и рентгеновской дифрактометрии в геометрии скользящего падения. В частности показано, что сильный сдвиг дифракционного пика при малых углах падения связан с преломлением рентгеновских лучей вблизи угла полного внешнего отражения. Результаты измерений хорошо согласуются с расчетами. Учет рассмотренных факторов необходим для корректного анализа распределения свойств тонких пленок по их глубине методом рентгеновской дифрактометрии в геометрии скользящего падения. Показано, что рассмотренный в работе подход можно использовать для определения материальных констант (?, ?) и толщины пленок тантала.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%