Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПЛЕНОК НИОБИЯ И НИТРИДА НИОБИЯ МЕТОДОМ РФЭС, "Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования"»

Авторы:
  • Лубенченко А.В.1
  • Батраков А.А.2
  • Шуркаева И. В.3
  • Паволоцкий А. Б.4
  • Краузе С.5
  • Иванов Д.А.6
  • Лубенченко О. И.7
стр. 64-73
Платно
1 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Научно исследовательский университет “МЭИ”, Москва, 2 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования национальный исследовательский университет “МЭИ”, Москва, 3 Национальный исследовательский университет "МЭИ", 4 Chalmers University of Technology, 5 Chalmers University of Technology, 6 Всероссийский научно-исследовательский институт сельскохозяйственного использования мелиорированных земель, 7 Национальный исследовательский университет "МЭИ"
Ключевые слова:
  • РФЭС
  • фон РФЭС
  • послойный профиль
  • тонкие пленки
  • ниобий
  • нитрид ниобия
  • XPS
  • background XPS
  • Depth profiling
  • thin films
  • niobium
  • niobium nitride
Аннотация:
Предложен новый подход к количественному и неразрушающему определению послойного химического и фазового состава многокомпонентных многослойных пленок на основе рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Он состоит из: нового метода вычитания фона многократно неупруго рассеянных фотоэлектронов, учитывающего неоднородность неупругого рассеяния по глубине; из нового способа разложения фотоэлектронной линии на составляющие пики, учитывающего физическую природу различных параметров разложения; решения задачи вычитания фона и разложения фотоэлектронной линии совместно; определения толщин слоев многослойной мишени по простой формуле. Определен фазовый послойный состав наноразмерных пленок Nb и NbN, рассчитаны толщины этих слоев.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.