Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ФОРМИРОВАНИЕ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ НАНОСЛОЕВ ОКСИДОВ ТАНТАЛА И АЛЮМИНИЯ, "Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Ежовский Ю.К.1
стр. 447-
Платно
1 Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)
  • В выпуске: №6, 2013, Том 42
  • В журнале: Микроэлектроника
  • Издательство: ФГУП «Издательство «Наука»
  • Рубрика ГРНТИ: Информатика. Информационные и вычислительные системы
  • Год выхода: 2013
Аннотация:
Представлены результаты исследования процессов формирования нанослоев оксидов тантала и алюминия, а также их многослойных композиций, полученных методом молекулярного наслаивания на поверхности кремния (100) и алюминия. Определены условия слоевого механизма роста оксидных структур и многослойных низкоразмерных систем с чередующимися зонами указанных оксидов. Проведена оценка диэлектрических характеристик синтезированных наноструктур.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%