Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «КИНЕТИКА РАСПАДА МОЛЕКУЛ ДИСИЛАНА НА РОСТОВОЙ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ В МЕТОДЕ ВАКУУМНОЙ ХИМИЧЕСКОЙ ЭПИТАКСИИ, "Химическая физика"»

Авторы:
  • Ивина Н.Л.1
  • Смыслова Т.Н.2
стр. 42-
Платно
1 Нижегородский институт управления – филиал РАНХиГС, 2 Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева
Аннотация:
В рамках кинетического приближения на базе данных технологических экспериментов определена область характерных частот распада радикалов молекул дисилана, адсорбируемых поверхностью в процессе роста слоя кремния. Установлена взаимосвязь скорости встраивания атомов кремния в растущий кристалл с характерной частотой пиролиза молекул гидрида на ростовой поверхности. Кривые зависимости скорости распада молекул дисилана от температуры обнаруживают нестандартное неактивационное поведение в интервале температур роста. Вид наблюдаемых зависимостей определяется выбором модели пиролиза, условиями захвата водорода с адсорбируемой молекулы поверхностью растущего слоя и зависит от величины давления газа в реакторе и выбора температурного режима. Показано, что основные закономерности, наблюдаемые в характере поведения скорости распада молекул дисилана, определяются спецификой взаимодействия молекулярного пучка дигидрида кремния с поверхностью роста в условиях низкого и высокого уровня заполнения поверхностных связей водородом. Температурные зависимости качественно описываются соотношением, содержащим две активационные кривые c разными энергиями активации в области низких и высоких температур и предэкспоненциальными множителями, зависящими от степени покрытия поверхности атомами водорода.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.