Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ИЗУЧЕНИЕ ХИМИЧЕСКИХ СВЯЗЕЙ И ЭЛЕМЕНТНОГО СОСТАВА ПЛЕНОК ОКСИКАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ МЕТОДАМИ РФЭ-, ИК- И РЕНТГЕНОВСКОЙ ЭНЕРГОДИСПЕРСИОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ, "Физика и химия стекла"»

Авторы:
  • Файнер Н.И.1
  • Плеханов А. Г.2
  • Асанов И.П.3
стр. 459-467
Платно
1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН 630090, Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 3, 2 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева Сибирского отделения РАН, 3 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева, Новосибирск, Россия
  • SDI: 007.001.0132-6651.2017.043.005.4
Ключевые слова:
  • гидрогенизированный оксикарбонитрид кремния
  • плазмохимический синтез
  • 1
  • 1
  • 3
  • 3-тетраметилдисилазан
  • РФЭС
  • ЭДС
Аннотация:
Проведено изучение элементного состава и химических связей нанокомпозитных пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния, полученных высокочастотным плазмохимическим осаждением из исходных газовых смесей 1,1,3,3-тетраметилдисилазана с азотом и кислородом в температурной области 373-973 K, в зависимости от условий синтеза. Изучено влияние изменения температуры синтеза и химического состава исходных газовых смесей на элементный состав и типы химических связей пленок SiCN,O:H.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%