Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ПЛЕНКИ НА ОСНОВЕ ФАЗ В СИСТЕМЕ Si-C-N. ЧАСТЬ II. ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ ПЛЕНОК SiCN : Н ИЗ СМЕСИ БИС(ТРИМЕТИЛСИЛИЛ)ЭТИЛАМИНА И ВОДОРОДА, "Физика и химия стекла"»

Авторы:
  • Румянцев Ю.М.1
  • Юшина И.В.2
  • Косинова М.Л.3
стр. 69-75
Платно
1 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия, 2 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, г. Новосибирск, 3 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия
  • SDI: 007.001.0132-6651.2017.043.001.7
Ключевые слова:
  • карбонитрид кремния
  • тонкие пленки
  • химическое осаждение из газовой фазы
  • оптические свойства
Аннотация:
Тонкие пленки карбонитрида кремния SiCN синтезированы методом плазмостимулированного химического осаждения из газовой фазы с использованием в качестве исходного соединения кремнийорганического вещества - бис(триметилсилил)этиламина EtN(SiMe) в смеси с водородом. Химический состав и свойства пленок охарактеризованы комплексом современных методов исследования: ИК, КР и энергодисперсионная спектроскопии, эллипсометрия, сканирующая электронная микроскопия, спектрофотометрия. Изучена зависимость скорости роста, химического состава и оптических свойств пленок от температуры синтеза в интервале 373-1073 K. Установлено, что температура подложки оказывает существенное влияние на кинетику роста, морфологию поверхности, физико-химические свойства и функциональные характеристики пленок. Низкотемпературные пленки SiCN обладают высокой прозрачностью в видимой и ИК области спектра. Варьирование параметров синтеза позволяет получать слои с различной величиной коэффициента преломления (1.50- 2.50).

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.