Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ТЕСТОВАЯ СТРУКТУРА В СЛОЯХ BEOL ДЛЯ ПРОВЕРКИ LPE В PDK»

Авторы:
  • Девятков В.Ю.1
  • Милютин С.В.2
  • Надин А.С.3
  • Шипицин Д.С.4
стр. 44-50
Платно
1 АО «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники», 2 АО «НИИМЭ», 3 АО «НИИМЭ», 4 АО «НИИМЭ»
Ключевые слова:
  • ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
  • LPE
  • BEOL
  • PDK
  • СБИС
  • RC
  • ELECTRONIC COMPONENT BASE
  • CONTROL
  • STATISTICAL RESOLUTION
Аннотация:
В статье приводится описание метода проверки LPE (Layout Parasitic Extrаction) в слоях BEOL (Back End Of Line) при разработке технологических файлов PDK(Process Design Kit) с помощью специальной тестовой эмуляционной структуры межсоединений.
Пожалуйста, авторизуйтесь, чтобы получить бесплатный доступ к статье.