Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Черняев М.В.1
  • Горохов С.А.2
  • Патюков С.И.3
  • Ганыкина Е.А.4
  • Резванов А.А.5
  • Заев И.А.6
  • Хорьков В.А.7
стр. 87-93
Платно
1 АО «НИИМЭ», 2 АО «НИИМЭ»; МФТИ (НИУ), 3 АО «НИИМЭ», 4 АО «НИИМЭ»; МФТИ (НИУ), 5 АО «НИИМЭ»; МФТИ (НИУ), 6 ООО «Кинтех Лаб», 7 ООО «Кинтех Лаб»
Аннотация:
Проведено моделирование химических процессов в реакторе пониженного давления при проведении процесса окисления с генерацией пара у поверхности кремниевой пластины (in situ steam-generation – ISSG) на установке быстрого термического окисления. С использованием модели реактора идеального смешения определен состав газовой среды (концентрации компонентов смеси) в зависимости от входных параметров процесса: температуры, давления, расходов водорода и кислорода. Установлены условия образования в окислительной камере максимальной концентрации атомов кислорода, определяющих процесс радикального окисления. Проведена экспериментальная верификация расчета.
Пожалуйста, авторизуйтесь, чтобы получить бесплатный доступ к статье.