Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ДИНАМИКА МИКРОЧАСТИЦ В ПОГРАНИЧНЫХ ГАЗОВОМ И ПЛАЗМЕННОМ СЛОЯХ КАК ФАКТОР ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЯ НА ПОДЛОЖКЕ, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Евдокимов В.Л.1
стр. 61-68
Платно
1 АО «НИИМЭ»
Аннотация:
Рассмотрены силы, действующие на микрочастицы, а также скорости осаждения и расстояния выноса микрочастиц в пограничном градиентном потоке у подложки в условиях газофазной термической и плазменной обработки. Выведены выражения, учитывающие комплексное влияние аэродинамики, электростатики, термофореза и давления ионного потока на движение частиц. Сделаны оценки скоростей и характера движения частиц как факторов дефектообразования при обработке подложек.
Пожалуйста, авторизуйтесь, чтобы получить бесплатный доступ к статье.