Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ВЛИЯНИЕ КАТАЛИЗАТОРА ТЕРМООТВЕРЖДЕНИЯ В АНТИОТРАЖАЮЩЕМ ПОКРЫТИИ НА ПРОФИЛЬ ЭЛЕМЕНТОВ ФОТОРЕЗИСТА, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Кузнецова Н.А.1
  • Малимоненко Н.В.2
  • Билданов М.А.3
  • Варламов Д.А.4
  • Грибов Б.Г.5
стр. 69-71
Платно
1 ФГУП «ГНЦ “НИОПИК”», 2 ФГУП «ГНЦ “НИОПИК”», 3 АО «Микрон», 4 АО «НИИМЭ», 5 АО «НИИМЭ»
Аннотация:
Исследовано влияние концентрации в антиотражающем покрытии кислотного (п-толуолсульфокислота) и нейтрального (триэтиламмониевая соль додецилбензолсульфокислоты) катализаторов сшивки полимерного связующего на профиль элементов фоторезиста.

Предоставляются только метаданные.