Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «СТАДИИ ГЕТЕРОГЕННОГО РОСТА И ХАРАКТЕРИСТИКИ СЛОЕВ, ОСАЖДАЕМЫХ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Евдокимов В.Л.1
стр. 34-39
Платно
1 АО «НИИМЭ»
Аннотация:
В рамках молекулярно-кинетической модели газофазного осаждения слоев материалов различной проводимости на структурах кристаллов субмикронных интегральных схем рассмотрены стадии данного процесса и выражения для расчета их скоростей в условиях гетерогенного роста. Модель учитывает диффузию, адсорбцию и химическое превращение реагентов в основной и побочный продукты. Предложены показатели, отражающие степень конформности и примесности слоев, сделаны оценки скоростей стадий процесса и значений показателей для исходных реагентов с различными физико-химическими характеристиками.

Предоставляются только метаданные.