Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «РОЛЬ ПОВЕРХНОСТИ МАТЕРИАЛОВ В ТЕХНОЛОГИИ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Бокарев В.П.1
  • Красников Г.Я.2
стр. 40-50
Платно
1 АО «НИИМЭ», 2 АО «НИИМЭ»
Аннотация:
Рассмотрено влияние физико-химических свойств поверхности кристаллов на физические и химические свойства материалов. На примерах ряда технологических операций показано определяющее влияние физико-химических свойств поверхностей контактирующих материалов на результат воздействия и его анизотропию.

Предоставляются только метаданные.