Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «КОНЦЕНТРАЦИЯ НАПРЯЖЕНИЙ В МЕЗОПОРИСТЫХ СТРУКТУРАХ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ С АДСОРБИРОВАННОЙ ВОДОЙ В ИНТЕРВАЛЕ ТЕМПЕРАТУР 233–273 К, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Бардушкин В.В.1
  • Шиляева Ю.И.2
  • Кочетыгов А.А.3
  • Дронов А.А.4
стр. 54-59
Платно
1 Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники", 2 Национальный исследовательский университет “МИЭТ”, Москва, 3 Национальный исследовательский университет "МИЭТ", 4 Национальный исследовательский университет „Московский институт электронной техники“
Аннотация:
Построена теоретическая модель прогнозирования значений компонент тензора (оператора) концентрации напряжений в мезопористых структурах на основе кремния с адсорбированной водой в интервале температур 233–273 К. Проведены численные модельные расчеты и исследованы зависимости значений компонент указанного тензора от объемного содержания воды в матрице пористого кремния.
Пожалуйста, авторизуйтесь, чтобы получить бесплатный доступ к статье.