Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ВЛИЯНИЕ ТИПА ПРОВОДИМОСТИ КРЕМНИЯ НА ПРОЦЕСС ЗАРОЖДЕНИЯ И ОБРАЗОВАНИЯ В НЁМ ПОР ПРИ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОМ ТРАВЛЕНИИ, "Доклады Академии наук"»

Авторы:
  • Абрамова Е.Н.1
  • Хорт А.М.2
  • Яковенко А.Г.3
  • Цыганков В.Н.4
  • Слипченко Е. А.5
  • Швец В.И.6
стр. 552-554
Платно
1 Московский государственный университет тонких химических технологий им. М.В. Ломоносова, 2 Московский государственный университет тонких химических технологий им. М.В. Ломоносова, 3 Московский государственный университет тонких химических технологий им. М.В. Ломоносова, 4 Московский государственный университет тонких химических технологий им. М.В. Ломоносова, 5 Московский технологический университет (Институт тонких химических технологий), 6 Московский государственный университет тонких химических технологий имени М.В. Ломоносова (МИТХТ им. М.В. Ломоносова), Москва
Аннотация:
Исследовано влияние типа проводимости Si на процесс зарождения и образования в нём пор при электрохимическом травлении. Установлено, что различие процессов порообразования в Si n- и р-типов проводимости обусловлено свойствами и природой слоёв, образующихся в начальные времена травления на поверхности Si.?На основе представлений о химизме процесса взаимодействия Si с травителем предложен возможный состав образующихся слоёв на поверхности Si.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%