Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «ТИПЫ МОДЕЛЕЙ ДЛЯ ОПИСАНИЯ НАПРАВЛЕННОЙ САМОСБОРКИ БЛОК-СОПОЛИМЕРОВ, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Литаврин М.В.1
  • Горнев Е.С.2
  • Янович С.И.3
стр. 23-28
Платно
1 АО «НИИМЭ»; МФТИ, 2 АО «НИИМЭ», 3 АО «НИИМЭ»
Аннотация:
Рассматривается метод направленной самосборки (directed self-assembly, DSA) блок-сополимеров, общая схема маршрута формирования маски и требования к моделям направленной самосборки. Проводится обзор классов моделей для описания данного метода.

Предоставляются только метаданные.