Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «КОНФОРМНОСТЬ РОСТА ТОНКИХ СЛОЕВ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ НА РЕЛЬЕФНЫХ МИКРО- И НАНОСТРУКТУРАХ. Часть 2. Процессы химического осаждения из газовой фазы, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"»

Авторы:
  • Васильев В.Ю.1
стр. 16-25
Платно
1 Новосибирский Государственный Технический Университет, кафедра Полупроводниковых приборов и микроэлектроники (ППиМЭ)
Аннотация:
Выполнен обзор информационных источников по результатам многолетних исследований проблемы конформности роста тонких слоев неорганических материалов на рельефных полупроводниковых подложках при химическом осаждении из газовой фазы. Во второй части рассматривается количественный подход автора к оценке конформности роста тонких слоев на рельефах на основании исследований кинетики их роста.
Пожалуйста, авторизуйтесь, чтобы получить бесплатный доступ к статье.