Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «СПОСОБ УМЕНЬШЕНИЯ ПОРОГОВОЙ ДОЗЫ ОБЛУЧЕНИЯ ИОНАМИ ВОДОРОДА ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ БЛИСТЕРОВ В КРЕМНИИ, "Приборы и техника эксперимента"»

Авторы:
  • Реутов В.Ф.1
  • Дмитриев С.Н.2
  • Залужный А.Г.3
стр. 146-149
Платно
1 Объединенный институт ядерных исследований им. Г.Н. Флерова, 2 Объединенный институт ядерных исследований, Дубна, 3 ГНЦ РФ “Институт теоретической и экспериментальной физики”, Москва
Аннотация:
Рассматриваются условия уменьшения пороговой дозы радиационно-газового скалывания монокристалла кремния путем использования в едином производственном цикле двухэтапного облучения ионами водорода фиксированной энергии. Экспериментально установлено, что в образце в режиме двухэтапного его облучения ионами водорода c Е = 12.5 кэВ дозой 0.5 • 10 см при нормальном угле падения частиц на первом этапе, а затем дозой 1 • 10 см под углом 32° на втором этапе (суммарная доза 1.5 • 10 см) формируется хорошо развитая блистерная структура, подобная структуре в образце, облученном в режиме одноэтапного облучения до дозы 5 • 10 см. Это свидетельствует о реализации условий более чем трехкратного понижения порога образования водородных блистеров в кремнии при двухэтапном облучении ионами водорода одной энергии в едином производственном цикле.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.