Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста
Войти / Регистрация
Корзина

  • Ваша корзина пуста

Статья «РАЗРЯДНАЯ ЯЧЕЙКА, СОЧЕТАЮЩАЯ ПОЛЫЙ КАТОД И МАГНЕТРОН, ДЛЯ ОЧИСТКИ ПОДЛОЖЕК И ПОСЛЕДУЮЩЕГО НАПЫЛЕНИЯ ПОКРЫТИЙ, "Приборы и техника эксперимента"»

Авторы:
  • Рогов А.В.1
  • Капустин Ю.В.2
стр. 150-155
Платно
1 НИЦ “Курчатовский институт” Россия, 123182, Москва, пл. Академика Курчатова, 1, 2 НИЦ “Курчатовский институт” Россия, 123182, Москва, пл. Академика Курчатова, 1
Аннотация:
Описана электрически изолированная от вакуумной камеры разрядная ячейка, состоящая из цилиндрического сеточного полого катода и планарного магнетрона с дисковым катодом, магнитной системой несбалансированного типа и встроенным изолированным кольцевым анодом. Ячейка обеспечивает как очистку подложки перед напылением, так и последующее магнетронное напыление покрытия. Магнетрон размещен со стороны открытого конца полого катода, а подложка - внутри полого катода, на противоположной относительно его открытого конца стенке. В режиме очистки магнетрон при инверсном включении источника питания используется в качестве анода совместно с полым катодом. Разрядная ячейка такого типа обеспечивает высокую однородность очистки, повышение скорости и снижение минимального рабочего давления Ar до ~0.1 Па в режиме распыления подложки. Рабочее давление для используемого магнетрона в режиме напыления лежит в диапазоне от 0.3 до 1.0 Па. Возможность быстрого перехода от режима очистки к магнетронному напылению путем переключения источника питания без изменения давления в вакуумной камере положительно влияет на адгезионные свойства напыленного покрытия.

Архивные статьи (2015 год и ранее) доступны для ознакомления бесплатно, для скачивания их необходимо приобрести. Для просмотра материалов необходимо зарегистрироваться и авторизоваться на сайте.

Чтобы приобрести доступ к материалу для юридического лица, пожалуйста, свяжитесь с администрацией портала с помощью формы обратной связи либо по электронному адресу libnauka@naukaran.com.  

Действия с материалами доступны только авторизованным пользователям.  

 

* - цена актуальна только для физических лиц
В т.ч. НДС 20%